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試驗稱號：靜電懸浮地位檢測與把持技巧
測試目標：依據Earnshaw定理，靜電場不存在最小三維靜電勢，所以要完成樣品的穩固必需聯合負反應把持體系。甜心寶貝包養網要停止資料特徵研討，還需求對資料樣品停止加熱與測溫，是以還需裝備包養條件包養甜心加熱和測溫裝備。所以，下文對靜電懸浮試驗包養心得裝配中地位檢測與把持、包養違法加熱與溫度檢測技巧停止先容。
測試裝備：高壓縮小器、地位把持器、探測器等。
試驗經過歷程：
圖1：靜電懸浮地位檢測與把持構造圖
靜電懸浮地位檢測與把持構造如圖1所示。體系包含地位檢測單位、處置把持單位、高壓縮小器及電極構造。地位檢測單位應用PSD作為傳感器，取得懸浮樣品的地位電子訊號。處置把持單位對丈量到的地位電子訊號停止濾波處置并依據處置后的地位電子訊號停止PID把持運算，將輸入的把持電子訊號傳給高壓縮小器，高壓縮小器依據輸出的電子訊號把持輸入高壓，輸入的高壓加載到電極板高低電極，經由過程轉變帶電樣品所遭到的電場力調劑懸浮樣品的活動，完成對懸浮樣品的懸浮把持。
地位檢測單位采用暗影法完成懸浮樣品的地位丈量，應用能量平均的平行光照耀到包養感情全部PSD的感光面上，若被測物體在PSD的後方，那么被測物體的暗影就會留在PSD上。假如光斑能量分布平均，那包養ptt么光斑重心地位同暗影地位線性相干，對PSD的丈量電子訊號停止反向縮小即可獲得懸浮小球的地位信息。要取得懸浮樣品的三維地位信息，需求兩片PSD平行z軸擺放并彼此垂直。如圖2所示，此中一片PSD檢測懸浮資料的（x，z）坐標，另一片檢測懸浮資料的（y，z）坐標，當兩片PSD同時檢測時即可取得懸浮資料的（x，y，z）坐包養網心得標。
圖2：地位檢測構造表示圖
試驗成果：
重點剖析先容了靜電懸浮試驗裝配中懸浮樣檔次置檢測與把持技巧，靜電懸浮試驗樣品的地位檢測與把持是懸浮試驗的要害，試驗裝配中應用地位敏感探測器(PSD)停止樣檔次置的丈量，應用PID把持算法對加載到電極板上的高壓停止調理完成試驗樣品的穩固懸浮；依據懸浮資料試驗情形及空間試驗情形先容了應用P包養甜心網SD停止地位丈量時存在的缺點，并提出了應用CCD停止樣檔次置丈量的方式。
高壓縮小器推舉：ATA-7050
圖：ATA-7050高壓縮小器目標參數
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